De productiemethode van siliciummicropoeder

Ten eerste voegt de trichloorsilaanmethode droog siliciumpoeder toe aan de syntheseoven en ondergaat een chloreringsreactie met het geïntroduceerde droge waterstofchloridegas in aanwezigheid van koperchloridekatalysator bij {{0}} graden. Het reactiegas wordt gescheiden door een cycloon om onzuiverheden te verwijderen en vervolgens wordt het gasvormige trichloorsilaan gecondenseerd tot een vloeistof met behulp van bevroren zout water met calciumchloride. Het wordt gedestilleerd en gecondenseerd in een ruwe destillatietoren om hoogkokende en laagkokende stoffen te verwijderen en vervolgens gedestilleerd en gecondenseerd in een destillatietoren om een ​​geraffineerde trichloorsilaanvloeistof te verkrijgen. De zuiverheid moet 7 of meer "9" bereiken, het onzuiverheidsgehalte moet minder zijn dan 1 × 10-7 en de boorvereiste moet lager zijn dan 0,5 × 10-9. Het gezuiverde trichloorsilaan wordt naar een roestvrijstalen reductieoven gestuurd, waar ultrazuiver waterstofgas wordt gebruikt als reductiemiddel om het te reduceren tot silicium bij 1050-1100 graden. De kernstaaf van silicium wordt gebruikt als drager voor het afzetten van polykristallijne siliciumproducten.

Ten tweede, meng silica met ongeveer 95% SiO2-gehalte en cokes met een laag asgehalte, verhit tot ongeveer 1900 graden voor reductie. De zuiverheid van silicium geproduceerd door deze methode is 97%~98%, wat metallisch silicium wordt genoemd. Na het smelten van het metallische silicium ondergaat het herkristallisatie en worden onzuiverheden verwijderd met zuur om metallisch silicium te verkrijgen met een zuiverheid van 99,7%~99,8%. Om het in halfgeleidersilicium te maken, is het noodzakelijk om het om te zetten in een vloeibare of gasvorm die gemakkelijk te zuiveren is, en vervolgens polykristallijn silicium te verkrijgen door middel van destillatie- en ontledingsprocessen. Om silicium met een hoge zuiverheid te verkrijgen, is verdere zuiveringsbehandeling vereist.

Ten derde moet silica met een SiO2-gehalte van ongeveer 95% worden gemengd met cokes met een laag asgehalte. Gebruik vervolgens een open vlamboogoven van 1000-3000 kVA om het mengsel tot ongeveer 1900 graden Celsius te verhitten voor reductie.